二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9134767 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为先进的半导体器件生产而设计的先进集成单晶圆反应器。AMAT P-5000具有创新的平面结构,能够进行先进的沉积过程,如化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。这使得它非常适合为各种半导体应用创建薄膜和纳米结构。该系统由四个主要组成部分组成。第一个是工艺室，其中包括多条气体管线和一个自上而下的蒸气发生器。在内部，蒸汽发生器加热室内的材料，而气体管线则将汽化的材料注入基板。腔室用N2吹扫密封，防止材料污染，减少不需要的反应。APPLIED MATERIALS P 5000的第二个部件是等离子体发生器。该组分通过使用射频（RF）能量激发腔内分子，在腔内产生所需的反应。此过程有助于减少缺陷和杂质,这些缺陷和杂质对于优化设备性能至关重要。APPLIED MATERIALS P5000的第三个组成部分是平台系统，它能够精确控制沉积过程。这包括控制工艺室内压力、温度和气流的多个模块。它还包括许多传感器来监控过程,允许实时调整以确保最佳性能。最后，第四个组成部分是自动化系统，确保整个沉积过程按照预期配方进行控制。这样就可以实现高水平的可重复性,这对于工程师创建复杂的设备结构至关重要。综上所述，P 5000是为满足先进半导体器件生产需求而设计的先进集成单片反应器。AMAT P5000具有平面结构和全面的组件组合,能够以高精度和可重复性创建薄膜和纳米结构。