二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9144772 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为MOCVD（金属有机化学气相沉积）应用而设计的高通量并联反应器。该反应堆采用模块化设计，在战略视场和腔腔配置方面具有卓越的可扩展性和过程灵活性。该设备旨在为计量、光刻、材料科学和MicroElectroMechanical Systems （MEMS）设备处理应用提供高吞吐量。AMAT P-5000的製程室设有质量流量控制器（MFC），控制惰性气体和製程气体的输送，而基板温度则由热效率高的基板架调节。MFC配有数字控制器和温度测量系统，可精确控制工艺环境。该装置还包括一个先进的晶圆至精炼界面，可最大限度地减少潜在污染并提高工艺窗口的可重复性。除了工艺室之外，APPLIED MATERIALS P 5000还包括一台原位计量机，对工艺状态和精度提供可靠的实时监控。利用高质量的光学仪器，计量工具可以捕获样品的表面图像，并分析包括晶体生长速度和均匀性在内的多种数据。这确保了可靠的高通量生产,并具有低污染或其他异常风险。P-5000拥有一个运输资产，其设计的鲁棒性和灵活性，尽量减少过程停机时间和避免崩溃的晶圆。这种传输模式提供了转子转速和晶圆中心的严格控制，以及自动故障检测的故障安全设备。P5000系统的整体设计经过优化,可获得最大的吞吐量和卓越的灵活性。AMAT/APPLICED MATERIALS凭借其卓越的可扩展性、工艺多功能性和严密的工艺控制能力,一定能满足MOCVD在半导体及相关行业的应用要求。