二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9148372 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是设计用于半导体和电子器件制造的高通量、高效热反应器。AMAT P-5000具有顶部加载配置,允许最大程度地访问基板加载、卸载和维护。该反应堆利用AMAT CleanOxide氧化技术，提供高效、高均匀性、超长循环时间，同时保持优越的器件性能。APPLICED MATERIALS P 5000利用双级氧化剂腔促进均质氧化膜生长，在保持高质量效果的同时允许增加吞吐量。该室还利用流量调节设备减少非均匀性。该系统由先进的气体输送网络提供动力，该网络包括可编程分配、温度控制和低流量关闭阀。此分配控制单元可帮助加快流程和提高可重复性,提供卓越的准确性和可靠性。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000也有几个非常吸引人的特性，例如即时参数调整、原位测量和反馈的能力，以提高过程的可扩展性和鲁棒性。这样可以实现自动化、无压力的操作和最小的停机时间。此外,APPLICED MATERIALS P5000利用集成的多端口排气机实现卓越的空气管理,并利用先进的诊断包快速轻松地解决问题。这种特性的结合创造了一个高效可靠的热处理设备，非常适合集成电路制造。其他功能包括增强的Autozone™模块,以提高周期可重复性,以及可选的晶圆处理机器人技术,以提供卓越的吞吐量。总而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一种用途广泛的高性能反应炉，针对半导体制造进行了优化。