二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153667 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是行业领先的蚀刻设备,用于在微电子、纳米电子、数据存储和光电子市场中蚀刻各种材料晶片。它是AMAT提供的一整套蚀刻工具的一部分,这些工具旨在提供最高的可靠性、最深的蚀刻速率和最宽的加工窗口。AMAT P-5000是为通用蚀刻而设计的，包括高长宽比蚀刻，可以精确地创建多层次的结构，允许最复杂的集成电路的复杂结构。APPLIED MATERIALS P 5000能够通过各种不同的蚀刻配方提供一致的蚀刻轮廓，其中最精确的是采用等离子体辅助蚀刻配置。这种配置包括真空室、射频电源、工艺气体控制单元以及天线或注入电极。室内的大气压由机械泵和调节器维持，而蚀刻气体则通过气体处理系统送入室内。微波产生的等离子体由离子、自由基和其他活化物质组成，它们创造了一个高电荷的环境，鼓励对暴露的材料进行蚀刻。APPLICED MATERIALS P-5000配有调制电子回旋共振（MECR）色谱,可提高等离子体均匀性,减少蚀刻时间,提高通量。AMAT P 5000是最先进的蚀刻系统之一,提供多种配方和高性能。P5000设计用于在各种材料中产生尖锐的深层蚀刻轮廓,包括硅、二氧化硅、氮化硅和光致抗蚀剂。利用对蚀刻速率的精确控制,APPLIED MATERIALS P5000实现了更快的光刻和微加工过程。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有先进的光电离控制单元,可确保快速响应控制错误并保持高度准确的过程结果。此外,P 5000还配备了实时性能监控和诊断工具,有助于流程优化和监控。总而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应器是一种先进的蚀刻机，设计用于生产工艺参数可调、蚀刻速率高、均匀性好、工艺时间快的深层精密蚀刻型材。