二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153668 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9153668
Poly etcher P/N: 0010-09490.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种等离子体增强化学气相沉积(PECVD)反应器,用于沉积各种组合物的薄膜以制造半导体、光学和生物医学器件。这种用途广泛的设备可以沉积各种氧化物、氮化物和碳化物薄膜,温度范围从低到高。反应堆有一个封闭的腔室,里面装有工作气体,如反应性气体,以产生沉积过程,以及要沉积的材料。腔室被一个自旋的晶片架包围,可以旋转以允许目标材料在晶片表面上均匀涂层。腔内有两种晶圆生长的基材,以及方便稳定膜沉积所需等离子体形成的电极和电容器。利用微波电源产生等离子体,产生快速高效的沉积。腔室压力可调,可调节温度和沉积时间,达到理想的薄膜性能。还利用射频场控制沉积速率,提供沉积一定厚度范围的薄膜材料的能力。该系统还配备了分析仪设置,用于测量沉积过程中获得的参数。AMAT P-5000是一种可靠高效的反应器,用于沉积各种材料的薄膜.由于其可调的设置,该单元允许最佳薄膜沉积,即使在极具挑战性的应用。此外,该机相当便宜,紧凑,是商业和工业用途的理想选择。因此,APPLIED MATERIALS P 5000是半导体和光学行业制造商和其他专业人士的热门选择,也是开发各种医疗、航空航天和电子元件的行之有效的主力军。
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