二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153669 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是AMAT制造的先进沉积设备,AMAT是一家以销售和支持研究和半导体行业设备而闻名的公司。这类反应器用于薄膜的高精度溅射，用于光刻、介电隔离等应用，是先进薄膜沉积系统的领先实例。这种特殊的沉积装置有一个多臂加工室，有一个两段泵机和一个集成的轴上区域。它由一个高级不锈钢真空室组成，可容纳九个加工臂，每个臂设计用来处理密封晶片载体。室内发现的屏蔽板由铝骨架和碳纤维复合侧壁组成。工艺控制软件使用户能够控制腔室及其组件的电气、机械和化学状态，以达到所需的工艺效果。AMAT P-5000配备了两个内置电源，用于溅射，并提供对目标电流的完全控制。它支持从金属到合金、有机物甚至氧化物的一系列溅射材料。为了优化沉积过程，该工具可以检测目标材料中存在的任何杂质，并提供目标电流和压力的实时显示。这样可以确保材料以最大的均匀度溅射，从而允许高精度的薄膜沉积。资产还具有测量晶圆温度的能力，允许用户优化沉积条件。这也可以用来确保底物温度低于所需材料的熔点。APPLIED MATERIALS P 5000配备了各种其他功能,以确保有效的目标利用率。例如,它包括一个高级目标管理模型,以自动排除使用过的目标材料并避免损坏设备及其组件。此外，它的可调离子源提供了改进的沉积结果，并允许更好的均匀性模具之间。最后，其独特的空气过滤系统防止灰尘和尘埃颗粒进入真空室，确保更好的过程稳定性和均匀性。总体而言，P5000是一个高质量、最先进的薄膜沉积单元，提供卓越的精度和过程控制。它设计用于处理多种材料，其特点有助于优化沉积过程，使其非常适合研究和工业应用。