二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9160448 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是专门为与半导体材料制造相关的沉积和蚀刻过程而设计的生产工具。它允许在单层和多层基板上高效生产各种材料的薄膜。AMAT P-5000反应堆是一种通用工具，可用于多种过程，如等离子体增强氧化；物理气相沉积；化学气相沉积；蚀刻；电极制造；合金生长；催化剂生产；薄膜沉积；以及研究和开发。它的等离子体支持过程是在带有加热真空室的垂直、批处理模式反应堆环境中进行的，以及一系列垂直整合的晶片级和支持子系统。APPLICED MATERIALS P 5000 Reactor配备顶置、大功率的射频等离子体源和单独的、原位的诊断源。这种组合提供了获得可靠工艺结果所需的精确物理参数（温度、气流、压力和电流）的灵活性。P-5000反应堆具有非常坚固和耐用的石英钟形罐，其部件是为各种工艺条件而建造的。此外，反应堆可以旋转和倾斜，以便于处理。这一特殊功能允许APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor用于一系列沉积应用,包括介电、抗蚀剂、铜和粘附增强处理。反应堆进一步配备了专门设计的挡板系统，用于精确控制腔内气体分布。这种挡板系统提高了沉积均匀性，有助于减少薄膜层的总厚度和遮罩变形。AMAT P5000 Reactor还包括一个独特的计算机控制系统，允许用户选择和控制各种工艺参数。该软件包有助于促进晶片加载/卸载、样品表征和分析、过程调度以及沉积条件的校准。简言之，APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种先进的沉积工具，旨在方便薄膜和多层结构的精确生产。它是一种高效、通用的工具,可提供一致、可靠的结果。