二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9169641 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种业界领先的制造工具,设计用于在纳米级蚀刻和清洁微型硅晶片。AMAT P-5000允许对晶圆的结构过程进行精确的阵列化以及高保真的微调。它能够支持从深蚀刻和CMP到光刻和脉冲激光沉积(PLD)的各种工艺和图样应用。APPLICED MATERIALS P 5000具有坚固耐压的铝制真空室,配有精密烘烤机构和超高真空泵。这使得它能够实现低压过程环境,以及长时间维持特定温度。它还具有广泛的清洁系统、内置的安全功能(如压力表和紧急关闭),以及用于监控过程参数的数据采集系统。应用材料P-5000反应堆有可编程的配方文件,其中包含所有必要的晶圆工艺信息。这使工具能够轻松地在应用程序之间切换,并快速配置配方,以实现所需的结果。此外,其用户友好的触摸屏界面使设置配方文件、控制参数和监控过程结果变得更加容易。反应堆的高精度蚀刻能力,结合其强大的真空系统,确保能在纳米级产生极好的再现结果。其细小的斑点尺寸使其对于精确图桉化小特征非常有效。APPLICED MATERIALS P5000的干湿清洁方法在清洁和修理晶片而不损坏晶片方面也提供了广泛的功能。P5000是任何现代微型化设备必不可少的工具,能够满足最苛刻的流程和制造工作流程。它的准确性、精确度和多功能性使其能够最大限度地提高工艺产量,并以最低的成本、精力和时间提供出色的结果。
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