二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171283 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于半导体制造和研究应用的高级反应堆。它设计用于加工直径可达12英寸(305毫米)的晶片,并在所有晶片表面上提供出色的温度均匀性。这使得AMAT P-5000反应器非常适合退火和扩散操作、金属和氧化物沉积、灰化、蚀刻过程以及用于等离子体沉积系统。应用材料P 5000由固体不锈钢制成,具有强度和鲁棒性,具有良好的耐腐蚀性和工艺室耐用性。这确保了多年操作的寿命和精确度。它是为执行清洁操作而建造的,其网状过滤器允许从所使用的气体中清除颗粒物和异物。P-5000通过均匀的反应堆结构和四区加热系统实现了温度均匀性。这种方法的工作原理是将加热元件围绕反应堆的圆周,形成一个更大的表面积,并将热量散布到一个更大的区域。这也允许保持精确的温度。AMAT P 5000独特的设计提供了卓越的温度控制和整个晶圆表面热量的均匀分布。这样可以消除任何热点或冷点,确保晶片始终按照严格的标准进行处理。此外,在半导体工业的长期退火和沉积过程中,P 5000能够抵抗热疲劳现象。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000的可编程逻辑控制器(PLC)模式提供了一个用户友好的界面,使其易于控制和监控系统的运行。这使得用最小的努力来调节温度、压力、气流和其他设置成为可能。除了坚固的设计和出色的温度均匀性外,应用材料P-5000反应堆对于实验室和工业生产环境都具有很高的成本效益。其节能运行意味着降低能源费用,降低成本,同时在整个过程中保持严格的质量规范。
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