二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171284 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种沉积反应器，设计用于在等离子体环境中将薄膜涂层沉积到半导体晶片上。该反应堆专门设计用于处理半导体材料，如硅、二氧化硅、三维（3D）晶体管和光子集成电路。它能够提供较大的晶片面积，并且易于处理与细线光刻有关的敏感性，从而在制造过程中提高产量。AMAT P-5000室包含一个八角形基座和一个先进的过程提升机构.这通过保持晶圆和上部电极之间的恒定距离，使得晶圆在加工过程中的精确位置和稳定性。该提升机构可用于减少污染和晶圆破损，以及微调不同材料的加工参数。APPLICED MATERIALS P 5000结合独特的双枪源设计，实现了沉积过程中的高均匀性。双枪具有两个电子回旋共振（ECR）等离子体源，有助于最小化非均匀性。P-5000还具有专有的高级配电模块，可确保从ECR等离子体源到晶圆的可靠且均匀的配电。除电源模块外，P5000还利用获得专利的气体部署设备进行目标气体沉积。该系统控制多个气源，并允许对气体配方进行微调，以优化沉积速率、均匀性和沉积特性。一个专门的软件控制过程管理单元作为机器的"大脑"。该工具旨在通过自动控制配方参数和维护周期来优化流程效率。这样可以缩短完成时间并提高产量。总体而言，AMAT P5000是一种高度通用的沉积反应器，能够为各种半导体应用提供卓越的工艺效果。与传统的沉积室相比,它为小型和大型沉积运行提供了卓越的性能,并增加了正常运行时间和降低了成本。