二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171285 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为半导体工艺应用而设计的最先进的蚀刻反应器。它是一种多室、多模块蚀刻设备,用途广泛且可高度定制,可满足每个客户的个人需求。该系统旨在为用户提供对蚀刻过程的最大控制，使他们能够实现严格的生产控制和快速的周期时间。AMAT P-5000包括一个负载锁定/通风口和一个或两个处理室。负载锁定/排气口具有各种功能，允许用户引入和移除基板，疏散单元并控制加工室的压力。过程气体通过装入负载锁的先进歧管机输送。歧管由高压不锈钢制成，包括几个进气阀和气线连接。刀具的加工室具有圆柱体设计，电磁增强线圈组件围绕腔壁布置。这些电子线圈产生强大的磁场和静电场组合，确保均匀和均匀的过程等离子体。E型线圈还提供了腔壁的自动清洁，从而提高了工艺的可重复性，减少了腔壁的清洁周期。APPLICED MATERIALS P 5000资产使用多种单一气体和气体溷合物处理腔室气体。功率通过射频发生器传递，使用户能够控制电子束的流动，产生均匀、均匀的过程等离子体。它还允许用户精确地调整频率和功率。该模型包括一个提供用户特定配方和参数的复杂软件包。它允许连续监测确切的生产成本，提供数据记录和相关工艺参数分析，并实时工作。该软件还包含室内安保系统和压力限制等安全功能。这确保了流程操作保持安全、高效和高效。总体而言,AMAT P5000是一种高度通用和可定制的高级蚀刻设备。它提供了无与伦比的对蚀刻过程的控制，使用户能够提高生产时间并最大化产量。