二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9184961 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9184961
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
Dry etchers, 8" 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种材料沉积和退火设备,设计用于先进材料的工业规模沉积和退火。AMAT P-5000反应器是一种真空室式、热隔离、高温、超高真空特殊工艺系统,用于沉积和退火各种材料,包括金属、合金和非金属。APPLICED MATERIALS P 5000反应器的设计可以同时处理多达四个材料层,并具有自动化的、可重复的结果,从而提高材料的沉积和退火效率。P5000反应器室的设计旨在最大限度地减少加热基板和真空室内部的热泄漏,并配有高效扩散泵,以保持真空压力在低-10^-1至中-10^-6 torr的范围内。腔室采用不锈钢制成,配有检视口、真空口,以及多种用于存放各种基材和样品的样品架和感光板。除了扩散泵外,腔室还包括涡轮分子泵,供应多种气体的储气罐,并由闭环压力控制器控制。P 5000反应器是通过一系列沉积技术,包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、电镀和CVD/PVD/电镀溷合技术,生产硅化物、氧化物、氮化物和其他高度复杂的材料和合金的理想选择。退火过程也可以在AMAT P5000现场完成。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000也能够製造多层堆迭的材料,如无机介电材料和透明导体,具有多步和基板。P-5000提供准确、可重复的结果,并且可以同时处理不同的材料和层,每层生产的厚度可达0.5微米。综上所述,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应器是一种专门为各种材料的工业规模沉积和退火而设计的真空室单元。该机器能够形成硅化物、氧化物、氮化物以及其他材料和合金,可重复和自动化的结果可同时达到四层,厚度可达0.5微米。AMAT P 5000提供了效率、精度和可扩展性的无与伦比的组合,使其成为大规模生产先进材料的理想选择。
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