二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185352 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高性能等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。该反应器能够生产多种薄膜涂层，可用于多种应用。它配备了一种创新的气体输送设备，能够使用各种气体进行操作，并配备了先进的等离子体动力系统，能够在高温和沉积速率下运行。AMAT P-5000利用负载锁定装置装载和卸载材料。这样就不需要任何操作员干预,并确保产品不会暴露于恶劣的过程环境中。绝缘室包含两个电极，这些电极连接到高压电源以产生等离子体。APPLIED MATERIALS P 5000使用气流控制机精确调节气流进入腔室。此工具能够实时测量流速、温度和压力,以确保最佳流程操作。流控资产还可以为一致的薄膜沉积提供精确和可重复的工艺条件。P-5000是一种高度通用的反应器，能够处理所有类型的底物。它具有先进的温度控制模型，能够在整个基板表面进行均匀加热以实现均匀的膜沉积。P5000还能够在大面积和不同的线速下以高速率沉积薄膜，从而在薄膜中达到所需的厚度和均匀性。应用材料P-5000反应堆非常适合用于半导体和光电子、平板显示器、MEMS和光伏等行业以及研发环境。UHV腔室和坚固可靠的设备设计使其成为需要全面过程控制、精确温度控制和可靠结果的应用的绝佳选择。这是一个易于使用、成本效益高的系统，非常适合需要精确薄膜沉积的各种工业和研究应用。