二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185353 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9185353
晶圆大小: 5"
PECVD System, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个先进的反应堆,专为执行尖端半导体制造工艺而设计。该设备配备了过程控制、自动化和机器人技术方面的最新技术,以支持其运作。AMAT/APPLICED AMAT P-5000具有灵活的系统体系结构,允许在单个单元中使用多个工艺配方和基板。它还具有高性能的气体分配和控制机器,以优化工艺产量和均匀性。APPLIED MATERIALS P 5000配备了一系列功能,以最大限度地提高其性能。其腔室采用圆柱形设计,带有离子沟槽,确保均匀蚀刻,低污染,气体分布良好。AMAT P5000还具有专门设计的高功率等离子体源,可实现快速沉积、删除和层汇率。此外,P5000拥有高精度的晶片卡盘和基板夹紧工具,提供可靠和稳定的基板对准,使其适用于广泛的应用。为确保最大限度的工艺控制,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000配备了大型基板温度控制器和工艺监控资产。此外,它的多个板载自动化控制器可以编程,以监测室内和过程条件,而无需用户干预。嵌入式安全监测模型在触发时监测子系统和警报,以确保反应堆始终安全可靠地运行。P-5000还具有精确、可重复的过程的复杂功能。其气线设计允许优化和一致的气流输送和溷合,提供更高质量的层。此外,APPLIED MATERIALS P-5000有一个专用控制器,用于从所有子系统检索传感器和执行器数据,并以最高效率设置气线。该控制器还配备了先进的晶圆分析设备,用于更严格的过程控制。AMAT/APPLIED MATerials P 5000反应器是精密半导体制造的理想选择。凭借其先进的特点,可以提高尖端半导体器件的质量和产量。其灵活的系统架构和可靠的过程控制系统保证了可靠的运行,使其成为制造的可靠选择。
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