二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185355 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种设计用于化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）应用的高性能过程反应器。这种低成本、高效率的设备为具有挑战性的沉积应用提供了出色的一致性、可靠性和可重复性。设计用于铜、硅、钨、铝等材料的沉积。AMAT P-5000反应堆包含一个垂直对齐的反应室，每次使用都可以方便地获取和预测结果。此紧凑系统采用模块化设计,易于组装和维护。该室采用不锈钢水冷套件设计，能够在环境和真空条件下运行。反应室还包含一个不锈钢化学蒸汽喷射机，允许用户精确控制工具内气体的化学成分。一个自动沉积阀装在腔内，用于调节化学蒸气向反应腔内的供应。该阀具有直观的可编程软启动机制和可调节的激活参数，允许用户通过简单的调整激活参数来调节化学蒸气的流动。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆还设有一个升空石英视图板。该板用于检查涂层在沉积过程中的进展情况。用户还可以在沉积完成后使用视图板进行目视检查。P-5000反应堆配备了强大可靠的电气资产。该模型是为过程反应堆的安全准确运行而设计的。电气设备包含内置温度控制器和各种安全功能，如热电偶和加热器，以确保系统的安全运行。P 5000是CVD和ALD工艺的绝佳选择。这种过程反应器是一种成本效益高、可靠的装置，提供极好的均匀性和可重复性，确保可靠和一致的沉积结果。