二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9193401 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种完全集成的多室蚀刻设备,专为各种应用而设计,包括先进的芯片制造、内存设备制造和太阳能电池制造。该系统由AMAT P-5000蚀刻反应堆、PX喷嘴和舷外真空装置三个主要部件组成。APPLICED MATERIALS P 5000蚀刻反应器配备先进的等离子体和真空技术，为加工参数提供精确的控制和统一。该反应堆配置了三环腔室设计，允许高效的等离子体生成和图桉化蚀刻过程。整体的腔室设计也创造了短而浅的工艺时间，使得机器适合高通量的应用。该工具还提供了一系列可加工的气体和气体溷合物，允许各种材料系统的蚀刻。PX喷嘴是资产在蚀刻和沉积过程中的主要输送模型。这种安排为流程开发和执行提供了广泛的灵活性，允许以精确控制的方式引入气体、溷合物和蚀刻/沉积材料。该喷嘴还执行温度和压力控制，以及反应堆温度监测和均匀性。这样可以确保整个会议厅保持关键工艺条件。舷外真空设备是一个外部系统，配有节流阀、压力传感器、高真空泵等部件。该单元负责直接控制腔室内的工作压力、高压气体引入、气体的装载和输送以及工艺支撑。这确保了工作基板的快速、高效和可靠的加工。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000反应堆是一种先进的蚀刻机，设计用于精确调节先进电子设备、内存设备和太阳能电池的生产。该工具提供了高度的过程灵活性、统一的处理参数和快速、高效的操作。因此，这一资产为各种材料系统的蚀刻提供了可靠和有效的平台。