二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9195270 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于特殊电化学沉积或蚀刻操作的等离子体工艺反应器。该反应堆能够提供高达50 kW的等离子体功率，腔室压力高达2 × 10-3 torr。此外，这个过程反应堆包括一个集成的晶片装载机和卸载机，集成的清洁系统和坚固的照明系统。AMAT P-5000反应堆有一个由金属和陶瓷部件构成的工艺室，用于屏蔽静电和高温。腔室的金属部件是气密的，包括工艺和排气室之间的全孔分离，以便有效地进行气体外处理。应用材料P 5000反应堆在氢气、氦气、氮气和氧气等多种气体环境中运行。此外，它还具有加工碳氟化合物、盐酸和其他有机气体的能力。反应器室具有单级PEM界面，同时在多个基板上进行沉积。沉积或蚀刻过程由低压直流电流源控制。反应物是通过位于腔室外周周围的注入口连续注入气体。等离子体中的能量随后指向底物。这种能量足以打破反应物和底物材料之间的键合，允许沉积过程。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆包括一个集成的晶片装载系统，可一次装卸多达12个基板。该系统使用的机器人臂旨在最大限度地减少人为干预装卸。集成的elctro-cleaning系统提供进程之间的快速清洁，照明系统在操作过程中提供视觉访问。AMAT P5000是一种用途广泛、功能强大的反应器，用于在广泛的工业、研究和学术环境中进行复杂的电化学沉积或蚀刻过程。该反应堆适用于许多应用，如光刻、MEMS和半导体制造。