二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196360 待售
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ID: 9196360
晶圆大小: 8"
SACVD System, 8"
PLIS System
Process:
USG
BPSG
Robot
Storage elevator
Chemical gas cabinet
(3) Chambers
(3) Ozone generators
(3) RF Generators.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种多功能、高通量的等离子体加工工具,能够根据广泛的工艺要求产生高质量的结果。它是为精密蚀刻、沉积和表面修改应用而设计的。AMAT P-5000是一种串联、批处理型设备,具有双工艺室、集成的机器人加载系统和先进的等离子体控制算法。通过将先进的多源等离子体输送系统与全自动过程控制相结合,APPLIED MATERIALS P 5000提供了无与伦比的过程控制水平、可重复性和产品质量。AMAT P 5000先进的工艺控制技术包括一个最先进的闭环控制单元,可根据工艺要求实时调整气体和等离子体参数。这样可以提高流程的可重复性和准确性,同时确保高质量的结果。AMAT P 5000还具有一系列先进的等离子体源,这些源可产生多种工艺气体,包括N2、O2、CF4和SF6。这些气源的存在使得能够使用先进的工艺配方,从而增强机器的蚀刻和沉积能力。APPLIED MATERIALS P-5000还提供了高度的过程控制灵活性,允许用户在操作过程中精确控制过程参数。这使得该工具能够以最少的浪费产生高产量的优质产品。此外,资产允许操作员根据应用程序的特定需求调整过程变量,从而使调整过程优化成为可能。该设施还可以很容易地与外部过程控制设备集成在一起,从而能够准确地执行更复杂的过程。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor是一种高度通用和强大的等离子体处理模型,专为生产级性能和高级工艺能力而设计。其先进的控制算法、集成的机器人技术和通用的气源选项使其适合需要严格的过程控制精度的广泛应用。其高吞吐量能力和快速调整过程参数的能力使其成为生产级别实施的一个有吸引力的解决方桉,在这些实施中,时间和成本效率至关重要。
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