二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196361 待售
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ID: 9196361
晶圆大小: 8"
PECVD System, 8"
Wafer sense
Robot
Storage elevator
Ergo cassette loaders
Electrical / Pump rack
UNIT INSTRUMENTS, 1660
RF Matching network
RIF Rack
(2) EDOCS With rack
Mini controller
Monitor rack
Heat exchanger
Tool cables
Lamp modules
Nitride PARC
(4) Chambers
Missing parts:
Process kits
OEM Mouse
Process:
USG
SiN.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高性能的半导体加工反应堆,可以执行各种任务。它主要用于光刻、蚀刻、外延和植入等生产过程。AMAT P-5000具有一个大的225毫米腔室,能够容纳各种基板形状。它有一个方便设置的原位适配器板以及一个水平安装的排气罩,以便更好地进行热管理。APPLIED MATERIALS P 5000配备了两个独立的源插槽,可配置为提供步骤和重复(S&R)以及连续扫描(CS)的过程气体输送。这样可以提高吞吐量,同时提供一致的结果。此外,AMAT P 5000还包括一个专有的Endura气体管理设备,它允许用户精确控制气体流向工艺室。Endura气体管理系统还具有自动清除过程,有助于减少停机时间并最大程度地减少浪费。P5000还配备了全方位的温度控制能力。它具有一个高精度的温度调节单元,可将腔室中的温度保持在0.5°C +/−以内。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000还包括一台区域操作控制(ZAC)机器,用于验证整个基板的均匀性。此外,AMAT P5000可以与Endura标准或Advanced Gas Management Tool配对,使用户可以利用无限数量的配方和自动气体溷合。由于其高性能和准确性,APPLIED MATERIALS P5000非常适合需要行业领先的产量、可重复性和周期时间的生产过程。它还能够处理各种电压和功率要求,并且可以容纳直径不超过11英寸的晶片。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000设计用于快速设置,使用户能够快速启动和运行。P-5000具有卓越的性能和强大的设计,是任何半导体生产环境的完美解决方桉。
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