二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203417 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种多功能、生产规模的蚀刻和沉积工具。它是一个先进的真空处理系统，非常适合制造最先进的薄膜元件和设备。AMAT P-5000采用管状单壁不锈钢腔室，可靠性强，安装方便。它高156.5厘米，位于一个双壁不锈钢外壳内，闭合直径20英寸，压力能力高达6托。腔室本身的标准抽水速度为106升/秒，容积为187升。APPLIED MATERIALS P 5000由多晶硅、钛硅化物、氮化硅材料组成。APPLIED MATERIALS P-5000采用两种主要成像配置；圆形图像处理器和平面图图像处理器。圆形视图处理器设计用于晶圆蚀刻和其他阵列处理,而平面视图处理器允许完整的基板沉积过程。两个处理器都依赖双源照明，允许对整个腔室进行详细的成像。P-5000由两个FM-300电子电源供电,功率范围高达800瓦,精密调节率为1%。高端电容器和转子计可以精确控制蚀刻和沉积速率。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000采用全方位真空密封系统,包括气体挡板、加热滑轨、加热器和电阻器以及特殊的冷冻冷却器。这将密封所有工艺部件，消除潜在的泄漏点，并允许可靠的脉冲蚀刻到800W。该系统安装在现代化的洁净室中，具有良好的污染控制，潜在的最低流速为3ppb颗粒，额定流量为0.5微米。独立的锁载室提供出色的晶圆处理，而易于使用的图形用户界面则允许快速高效的操作。P 5000旨在满足质量保证和生产效率的最高标准,为大规模生产提供更好的产量和减少的缺陷。其先进的反应堆设计提供了出色的控制、可靠性和性能，使其成为同级中最可靠的工具集之一。