二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203824 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个5室单晶片反应器，利用反应室，以利于减少粒子污染的化学过程。由于其独特的设计和能力，非常适合广泛的精密研发应用。AMAT P-5000是一个5室工艺，其中每个反应室的大小为1.25升，包括一个高级工艺控制模块，以协调下游工艺压力和流速。这些腔室都与隔离阀相互连接，这有助于确保从一个腔室到另一个腔室的过程分离接近完成，并确保整个腔室的处理温度范围均匀。该设备还具有先进的温度管理水平，通过使用先进的冷热气体控制，以及通过单一用户界面管理的综合大气控制，可以精确控制每个室内的温度。APPLIED MATERIALS P 5000的主要用途是执行需要精确温度、压力和流动能力的高精度过程。它能够执行化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）等过程。腔室设计允许在所有腔室中实现精确和均匀的加工温度，保证均匀水平的基板加热，这对于CVD和ALD等高级工艺的均匀性和可重复性至关重要。定制的设计确保整个腔室密封，不允许任何工艺气体从系统中逸出。AMAT P5000还具有先进的工艺控制和监测功能，以确保对腔室温度、压力、流量和大气条件的精确控制。用户界面允许手动或自动操作,并提供对所有流程参数的实时监控。该单元提供了一系列用于控制、安全和维护的硬件和软件解决方桉，使用户能够完全控制整个机器。总体而言,APPLIED MATERIALS P5000是一个高度可靠、精确和自动化的研发平台,非常适合一系列精确的过程。该工具的温度、压力和流量控制能力，加上其精密的过程监控，为用户提供了可靠、精确的过程平台。