二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9210302 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种电感耦合等离子体（ICP）反应器,设计用于对图样和毯状薄膜进行高效、精确的蚀刻。该反应器使等离子体组成和温度分布在整个基板上均匀，提供极好的晶体质量和改进的蚀刻轮廓，变化最小。该设备完全自动化,具有高级流程控制、监控和远程支持功能,能够快速轻松地设置和访问流程参数。AMAT P-5000由高效电子回旋共振（ECR）源提供动力，该源提供高密度等离子体和对蚀刻机理的高控制。ICP系统还具有溷合脉冲频率电源,具有优异的电气性能和卓越的自上而下各向异性蚀刻效果。该单元设计为可在三个维度上进行蚀刻,以便对生产最先进的电子和光电元件所需的复杂3D结构进行阵列化。APPLIED MATERIALS P 5000的精密自动化流程通过图形用户界面进行管理，机器配备了先进的流程控制、监控和超压功能。该工具能够处理各种基材材料，如Si、SiO2、Si3N4和多晶硅，从而能够产生低至25nm的微量模式和结构。P5000在蚀刻操作方面已被证明是高度可靠和高效的,它通过有效利用耗材、缩短工艺周期和提高真空资产性能提供了最高的吞吐量。此外,该型号设计为低维护和低成本,且停机时间最短。反应堆还便利清洁室友好型装置和运行，对环境的影响最小。总体而言，P-5000是一种先进的ICP蚀刻设备，旨在提供周转时间、一致的准确性和可重复的工艺结果。它的多用途特性使得能够生产复杂的3D结构，从而能够生产高度先进和可靠的电子和光电元件。