二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9210614 待售
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ID: 9210614
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Wet etcher, 8"
(3) Chambers
Gas: SF6, CL2, Ar, He
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种最先进的聚合物和半导体可重复工艺沉积设备,可为先进的半导体器件制造薄膜。AMAT P-5000非常适合需要可重复控制薄膜沉积的研发和制造应用。APPLIED MATERIALS P 5000提供了一个超高性能的过程环境,能够在高效的单步过程中提供高质量、可重复的薄膜,使其成为一个高度通用和可靠的系统。此外,还可以轻松定制设备以满足客户的特定应用程序和流程要求。APPLICED MATERIALS P5000基于超高密度感应等离子体技术,创造了一个高功率高温等离子体场,使等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)速率比传统热沉积工艺快3倍。该机采用自动转塔,允许多种加工工具和加热的基座台,温度范围可达150 °C。这两种工具均设计用于将薄膜均匀地沉积在直径不超过8英寸的基板上。该工具能够以10-100 Hz的频率工作,允许超快速的薄膜沉积,并可精确控制多个参数,包括温度、压力和速度。APPLICED MATERIALS P-5000是一项可靠且用途广泛的资产,为各种先进的材料沉积应用提供高精度技术。其强大的功能使AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000成为高性能、经济高效的半导体器件研发和生产的理想选择。此外,该模型提供了一个安全可靠的环境,具有多种环境控制功能,如集成安全门和自动等离子体关闭系统。所有元件都按照最高质量标准进行加工和制造,以确保可靠和一致的操作和性能。
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