二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9214227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种先进的反应性离子蚀刻器（RIE）系统,旨在用于硅片和其他硬质材料。利用强大的离子轰击和均匀的等离子体生成，提高了蚀刻速率均匀性、蚀刻选择性和工艺重复性。AMAT P-5000室由不锈钢构成，并以限制污染物和颗粒进入过程的方式封闭。它提供了负载锁、晶圆处理系统和气体输送系统的选项。APPLIED MATERIALS P 5000与APPLIED MATERIALS P5000 Plus相同,唯一的区别是Plus型号中包含压力控制器。AMAT P 5000配备了电子回旋共振（ECR）源，直接产生离子分布均匀的高密度等离子体。这一独特功能使P5000与传统的RIE系统脱颖而出。它还包括一个高功率HF匹配网络，能够产生非常广泛的蚀刻功率。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有双频气体喷射系统，在不同压力下输送蚀刻气体，以保持整个腔室的压力均匀性。系统的界面是用户友好的，允许简单编程复杂的蚀刻配方。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000可用于各种材料的蚀刻应用,包括硅、玻璃、石英和蓝宝石。可用于将硬材料蚀刻成基板，如集成电路和晶圆级封装元件。它还能够进行深各向异性蚀刻，这是其他RIE系统很少能提供的独特功能。P 5000在蚀刻硬质材料时具有许多优点。它可以提供极其均匀的蚀刻速率和高度可重现的蚀刻结果。其广泛的蚀刻能力使其适合各种应用。离子轰击的均匀性也有助于在整个底物上保持相同的蚀刻速率。其坚固的结构确保了长期的可靠性并降低了维护成本。