二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226220 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9226220
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
CVD System, 6" 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于对产品和材料进行热和化学处理的工具。主要用于蚀刻、沉积和氧化等工艺。该反应堆在400°C至1000 °C的高温下运行,密度高达15W/cm2。它能够为热阻涂层等应用制造薄膜,为半导体应用制造先进的氧化工艺。AMAT P-5000是一个2区反应堆,这意味着它有两个可以在不同时间独立操作的材料箱。它也有两个石英石英加热器位于每个桶的底部和中间,有一个3面的面板,允许工艺气体与材料同时相互作用。反应室被设计成具有密封的大气,并保持在一个特定的压力下,这样可以对材料进行更精确的温度、持续时间和功率控制。APPLICED MATERIALS P 5000利用双电位控制器控制热和化学操作过程中的功率。此控制器设计为用户友好且易于使用用户选择的参数和设置进行编程。此外,其高度精确的温度、压力和持续时间控制功能使用户能够随着时间的推移获得更高的工艺准确性和可重复性。P 5000还包括安全功能,如紧急情况下的紧急关闭开关和氧气传感器,为安全起见监测室内的O2水平。此外,该设备还配有耐化学不锈钢外壳,以防止腐蚀或反应室进一步磨损。AMAT P5000的应用包括薄膜沉积和溅射过程、氧化和氮化物氧化过程、电化学和激光烧蚀过程。它也非常适合动力装置封装、生物医学植入涂层和多金属/合金薄膜的应用。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是一个高度通用和可靠的系统,适用于许多热和化学过程。它的安全特性和精确的控制能力使其与同类中的其他工具脱颖而出,使用户可以一次又一次地实现可重复和一致的结果。
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