二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226363 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个大面积、单晶圆功率反应器,专为高生产率电阻和电容蚀刻应用而设计。它是第一个具有5英寸晶圆能力的电源蚀刻器。该工具采用多级双向等离子体源，四个电极配一个可选的第五个电极，以及一个可调双离子基窗口。大面积蚀刻室允许单批最多五个晶片，提供更高的吞吐量和更少的工艺周期。AMAT P-5000具有多个气体注入口，允许更多的气体注入蚀刻室内，从而使蚀刻过程更好的一致性和控制。该工具还包括一个背面冷却组件，为蚀刻室内的所有晶片提供均匀冷却。这有助于确保每个晶片接受均匀的蚀刻和冷却。该工具还提供了一个集成的过程监控系统，具有自动气体调平、温度控制和射频实时过程监控系统。集成电源控制蚀刻室内的功率水平，气流控制监控气流通过晶圆。APPLIED MATERIALS P 5000还有一个自动过程跟踪系统，以确保准确和可重复的蚀刻结果。P 5000具有先进的过程控制,允许用户自定义过程参数以实现所需的产品结果。这包括调整蚀刻电流水平、峰值功率和持续时间以及调整射频脉冲宽度等参数。此功能使该工具特别适合于高级制造过程。P-5000还提供了许多安全功能,包括扩展的屏蔽盖托盘、金属碰撞检测和有限的辐射泄漏。该工具还自动检测晶圆断裂和其他安全警报。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一个大面积的单晶圆功率反应堆，设计用于高生产率电阻和电容蚀刻应用。它具有多级双向等离子体源、四个电极和一个可选的第五个电极，以及一个可调节的双离子基窗口。该工具还包括集成的过程监控、高级过程控制以及许多安全功能,使其成为高级制造过程的理想选择。