二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226604 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种高性能、高通量、大面积等离子体浸没离子植入（PIII）设备。它是一个批处理类型的系统，其中组件被放置在一个封闭的腔室中，其中创建了一个等离子体。AMAT P-5000能够加工直径达8英寸、长度达12英寸的基板，适合大规模生产。APPLIED MATERIALS P 5000有几个不同的特性，使它与其他PIII系统不同。它具有三区定制设计的射频滤波器组，具有高频和低频天线组件。这些滤波器可最大程度地减少不必要的功耗,并确保更高的低频处理。该装置可以分批运行，也可以连续运行，操作员能够控制停留时间和过程温度，最大限度地提高吞吐量。机器的功能还包括自动特征识别和实时监控过程参数的能力,从而确保了最高质量的结果。该装置采用油箱内电极设计，通过消除手动转移和搬运，简化了后处理。P-5000还具有坚固的真空室和持久的材料,可提供最大的正常运行时间和吞吐量。该腔室是为非常高的真空而设计的，包括一个用于快速基板转移的集成负载锁，以及一个高流量冲洗工具和射频笼，以尽量减少颗粒物污染。该腔室还具有多点快速样品加载功能，使操作员能够快速将基板进出腔室，提高整体加工时间。此外,P5000还具有高度可配置和用户友好的控制资产。基于Windows的集成界面简化了模型的操作,包括高级功能,如过程监视、数据记录和配方控制,以实现最高的效率。这些设备还允许整合客户提供的用于过程控制和监控的软件。AMAT P 5000是大型生产工作的绝佳选择。其强大的设计和高性能功能可实现最高的性能和优异的最终效果,使其成为许多生产应用程序的理想选择。
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