二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9232761 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种电子植入微电子装置，设计用于在集成电路中可靠地形成接触凸点和互连结构。反应堆通过在单个平台上提供高温、高真空、无氢的工艺能力来实现这一目标。AMAT P-5000反应堆装有一个可加热的贝尔罐、一个基板加热器和多个电极。可热的钟形罐是一个玻璃管，在真空中操作，包含多个热点。基板加热器用于均匀、准确地控制基板温度。连接到电源的多个电极用于产生电弧，提供快速可靠的退火或植入接触凸点和互连结构的方法。APPLIED MATERIALS P 5000反应堆的组件都能达到高达1500 °C的温度，真空水平小于6.4e-4 torr。该系统还包括一个自动气体输送系统，允许灵活的过程配方。这允许用户精确控制加工中使用的有害物质的温度、压力和流量。APPLIED MATERIALS P5000反应堆设计为在极端条件下运行,具有可重复性和可靠性.功率控制系统具有数字脉冲宽度调制功能，可实现电弧的精确控制。反应堆有多个腔室，可同时进行多个过程。这允许多个用户应用各种各样的晶圆尺寸和模具尺寸。此外,可选的静电卡盘（ESC）允许精确控制基板和晶圆机电参数,使电流均匀地流向工艺位置,并有助于减少因模模不一致而产生的可变性。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆提供先进的功能,如射频（RF）发生器和红外（IR）相机。射频发生器确保任何具有射频元件的设备在安全准则内操作,以防止设备发生故障。红外摄像头可帮助用户快速识别温度较高的区域,从而实现更快、更准确的过程。P5000反应堆体积小，能够在最小空间内进行有力和可靠的处理，从而节省了成本。模块化组件和集成功能提供了可扩展性和灵活性，使P-5000反应堆成为各种电子植入物微电子应用的理想选择。