二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9236839 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9236839
晶圆大小: 6"
TEOS System, 6" (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为生产多种材料而设计的高性能等离子体蚀刻工艺设备。它是在洁净室环境中运行的全自动反应堆。AMAT P-5000利用先进的双频等离子体技术,实现了更高的工艺精度和高于平均吞吐量。这使得它非常适合半导体器件生产和先进的科学过程等应用,如研发。APPLIED MATERIALS P 5000配备了2700瓦的高频射频电源,能够在整个工作表面提供高均匀度的等离子体轮廓。它还包含双目标等离子体源,允许在设备的特定区域中定制蚀刻等离子体的浓度,从而能够对复杂的形状和特征进行蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有开放式体系结构软件套件以及一套工作自动化/机器人工具。APPLICED MATERIALS P5000系统的总体设计基于模块化和可扩展的框架。此设计可实现简单的流程可扩展性和高吞吐量处理能力。该单元还具有各种环境控制和支持系统,如温度、压力和振动管理控制系统。这有助于确保可靠、可重复的过程结果,减少机器停机和相关生产损失的可能性。APPLICED MATERIALS P-5000已设计用于多个行业,如先进包装、复合半导体制造、生物医学器件制造和MEMS生产。它也被用于表面修改和蚀刻等材料科学应用,允许创建具有低损伤效果的高精度表面特征和图桉。AMAT P5000是一种高性能的自动化反应堆,具有先进的控制能力,可用于广泛的生产和研究过程。其模块化设计使其能够处理复杂的蚀刻过程,而其高功率射频源和双目标等离子体源则提供了卓越的精度和吞吐量。除了独特的自动化/机器人工具套件和一系列环境控制功能外,P5000是任何需要可重复和可靠性能的应用程序的理想选择。
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