二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9237058 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9237058
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
CVD System, 8" 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个反应堆或沉积室,使科学家和工程师能够在受控大气中将材料的薄层精确操纵、沉积和生长到各种基板上。它是一种低温加工工具,采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)技术,比传统化学气相沉积(CVD)方法提供更快的沉积速率,更均匀性和更好的阶跃覆盖。AMAT P-5000设计为易于使用和高效的系统,具有一系列可行的过程,使客户能够在各种条件下将物料沉积到基板上,并对现有表面进行简单的清洁和退火。该反应堆可用于沉积多种材料,包括氮化硅、介电氧化物和无定形碳,以及硅、的沉积、和其他金属。APPLICED MATERIALS P 5000由几个关键部件组成,使其能够高精度地精确控制和沉积材料薄层。这些部件包括通风的外壳和真空室、带支架的基板表、沉积源和自动化工艺阀。外壳使腔室保持真空状态,从而为沉积过程提供精确和稳定的环境。基板支架在加工过程中牢固地将基板固定到位, 沉积源从惰性气体分子产生高能等离子体, 这是将材料的薄层沉积到基板上所必需的, 自动过程阀可以打开和关闭以允许材料进入,以及在过程中产生的废气。P 5000旨在确保一个精确、高质量的沉积过程,同时也是高效的。沉积室配有高效的热控制系统,使科学家能够最大限度地减少沉积过程中基板上的热负荷。此外,该系统旨在最大限度地减少气体和能源使用,从而提高效率和节省成本。总体而言,应用材料P5000是一个用途广泛、高效且易于使用的沉积室,它使科学家和工程师能够以精确和准确的方式将材料薄层沉积到各种基板上。其低温处理能力以及高效的能源和气体使用特性使其成为研究、开发和制造应用的宝贵工具。
还没有评论