二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9245114 待售

ID: 9245114
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
PECVD System, 8" With (2) process chambers 1994 vintage.
AMAT(应用材料)AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种水平、单晶圆反应器,通常用于加工半导体器件制造中所用的硅和砷化的材料。它是一种高精度的工具,旨在提供在使用半导体器件生产中使用的敏感材料时所必需的准确性和可重复性。AMAT P-5000具有一系列特性和功能,可用于定制反应室以满足用户的特定需求。APPLICED MATERIALS P 5000由AMAT/APPLICED MATERIALS Endura Electronics控制提供动力,有源腔室尺寸为8 x 8英寸(20.6 x 20.6厘米),可在29hPa至700hPa(0.1至5 torr)的压力下运行。此外,P 5000可与一系列不同的反应性气体配对,并支持多种温度控制方法,包括电阻加热和热冷却器。APPLICED MATERIALS P-5000的最大坡道速率大于每分钟600°C,其设定点精度大于0.1°C。腔室的内壁具有动态指示应力隔离技术(DIST),该技术旨在保持一致的温度轮廓,确保样品不暴露于任何显着的热梯度。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000具有全方位的监控功能,包括过程监控、真空室、压力和流量控制、温度控制以及数据记录。APPLIED MATERIALS P5000旨在与其他AMAT处理系统(包括其Endura和Centura工具系统)以及waferware自动化软件无缝集成。这允许各种自动化级别,并为用户提供了一种高效且经济高效的方法来实现其期望的结果。总体而言,AMAT P 5000是一种高精度反应堆,旨在提供敏感半导体器件所需的准确性和可重复性。
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