二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9248920 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，设计用于电子和光电应用的外延增长。它为多种材料的高质量外延层提供了高速率的沉积。反应堆有150毫米的平行板设备，可扩展到其他尺寸。AMAT P-5000反应器具有四个不同的过程等离子体：感应耦合等离子体（ICP）、直流电（DC）或脉冲直流（PDC）源。它能够维持10-100毫升之间的等离子体。它针对低功耗、高效的工艺进行了优化，为高速率外延提供了广泛的工艺压力和沉积速率。APPLICED MATERIALS P 5000系统包括先进的气体输送模块和柔性反应堆间腔室。单位还配备了实时腔室压力监测等多种诊断工具；现场和实时沉积率监测；可变源功率；具有冷却能力的基板温度控制；自动端点检测；以及集成的多波长光谱。所有诊断工具都旨在通过基于实时控制优化过程来缩短过程时间。AMAT P 5000机还提供了整个基板区域极好的温度均匀性.这允许均匀的薄膜层沉积和更好的产率。该反应堆经过优化，可用于以氨为基础的工艺以及其他化学方法。该工具专为易于使用和高吞吐量操作而设计。它易于设置和校准,使用自动诊断和配方,用户可以快速选择流程和可调整的参数。P5000资产的设置是为了与基于模型的控制软件和数据可视化软件兼容。总之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆是一种先进的PECVD模型，针对低功率、高效的工艺进行了优化。适用于各种应用，均具有优质薄膜沉积、均匀性、可靠性等保证。它还易于设置和校准,以及其他高级编程选项,以实现最高的精度。