二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9249468 待售
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ID: 9249468
CVD System, 6"
Install type: DLH
Wafer shape: Lamp heated
EMO Type: Turn to release
Gas panel: (3) Chambers
Clean system: RF Clean
AC Rack
Generator rack
Monitor rack
Heat exchanger
(3) Chamber type:
Chamber A: DLH SA Chamber
Chamber B: DLH SA Chamber
Chamber D: DLH SA Chamber
Loadlock: 8 Slots
Cassette, 6"
Vent type: Variable speed
Mainframe:
Buffer robot type: P5000
Buffer robot blade: Blade
Status light tower
Remote monitor: Table mount
Sub-system:
AMAT-0 Chiller
(3) ADTEC AX-1000AM II RF Generators
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 180 A
Frequency: 50/60 Hz
CE Marked
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个专门设计用于提供统一和可重复处理结果的热处理室。这种反应器是一种理想的解决方桉,用于各种需要均匀温度和大气控制的基于真空的过程。AMAT P-5000配备了先进的双室设计,具有两个可同时使用的独立隔间。集成的晶圆传输设备提供各种样本量的易于操纵和受控移动。该系统还包含两个主控制器-主控制器和负载锁定控制器-可用于不同的配置。APPLIED MATERIALS P 5000单元提供了一系列动态控制功能,使用户可以精确地微调其过程以获得所需的性能结果。这台机器由一个自动清洗的薄膜环状加热元件提供动力,确保平均分布温度在10°C至800°C之间。此外,该工具还配备了强大的进气冷冻泵,可确保快速真空操作。此外,坚固耐用的水冷鼓风机可确保充分控制和无失真处理,提供高精度的结果。通用的P-5000反应堆还配备了一个可调的高性能盖子,能够方便地访问样品转盘。盖子在两室配置中容纳四个不同的旋转木马,提供充足的样品容量。高级灵活性允许用户安装各种晶圆大小和形状,包括圆形、正方形和矩形。P5000反应堆具有多种安全特性,在处理有害物质时至关重要。工业级腔室密封资产提供了防止化学品暴露和潜在事故的关键保护,而综合紧急停止模式则防止失去操作控制。P 5000还具有多种软件驱动功能,包括高级数据记录功能和以太网连接。此设备提供了对数据导出和导入的轻松、安全的在线访问,并实现了与现有工厂网络的高级集成,以简化流程监控、自动数据采集等。总体而言,AMAT P5000是一个高级热处理室,专门设计用于在各种高精度真空过程中提供高级均匀性、可重复性、灵活性和安全性。
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