二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255616 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种设计用于在高温环境中处理液体材料的反应堆。常用于沉积不同材料的薄膜,如金属、金刚石状碳、硼。它在化学气相沉积(CVD)应用中对过程控制特别有用。AMAT P-5000是一种垂直载荷的热化学气相沉积(CVD)反应器,意味着它能够同时进行热化学沉积和冷壁过程。它是一个PECVD(等离子体增强型CVD)腔室,具有在目标基板上沉积非常薄的材料层的能力。它具有一个大的球形腔室和一个工艺窗口,它允许目标基板在受控环境中暴露于各种气体。APPLICED MATERIALS P 5000也非常可靠高效,是CVD应用的绝佳选择。反应堆由30KW射频(Radio Frequency)发电机供电。它具有先进、节能的加热元件和用于温度监测和控制的双热电偶。主处理室具有可调射频功率选项或两个不同的模拟输出,以改变工艺气体压力和比率。P 5000还配备了多种用户友好的功能,如数字计时器、手动启动/停止功能和可编程计时器。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆能够在高达1000°C的温度和低至100 Torr的压力下运行。它还配备了样品加载系统,可自动加载多达8个样品。还有一个内置定位器,允许根据工艺配方移动样品。P-5000能够生产高质量的薄膜,具有良好的均匀性、高沉积率、低颗粒排放以及优异的表面和结构性能。总之,APPLIED MATERIALS P5000是一种强大可靠的CVD反应器.高效,具有可调节的射频电源、先进的加热元件、双热电偶、样品加载系统和可编程计时器。它是薄膜应用的理想选择,提供最佳的薄膜质量和良好的工艺控制.
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