二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255618 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种多室、多级真空工艺设备,专为高级器件结构和高级封装等超高性能半导体应用而设计。AMAT P-5000是一个多室系统，旨在精确控制这些应用所需的真空过程步骤范围内的温度和气体。它具有主室、盾构室和工艺室以及四个预先清洁室的八室设计。主室有一个预装有反应性处理管的底板，而盾构室则装有温度较高的炉，在过程中提供额外的热保护。该工艺室包括三个沉积设备来源：微波源；电子回旋共振源；和一个漂移室源。该股包括先进的过程情报和综合控制系统以及各种安全和监测系统。流程智能软件用于允许自动启动优化流程配方，而集成流程和安全监控系统则有助于保持最大效率和性能。此外，该机器还具有触摸屏界面，可用于监测和控制功率水平、等离子体参数、温度和过程所需的其他要求。该工具的设计目的是处理用于次Ånm生产的脱钩工艺,以及涉及功能低于50 nm的高度沟槽的晶片的工艺。它设计用于在超低温下运行复杂的双组合物和双层沉积组合以及顺序蚀刻和沉积步骤，而不会在多个阶段进行循环。除了上述特性外,APPLIED MATERIALS P 5000还利用了几种创新技术,如专有的射频源激发、先进的离子束源、先进的腔室几何形状和运动光学。这些技术可以实现涂层和图案的高速和均匀性。P-5000还提供了双层设施布局,以实现卓越的可及性和维护。总体而言,APPLIED MATERIALS P-5000是一种多室、多级真空工艺资产,专为超高性能半导体应用而设计。它具有先进的过程智能和集成控制系统、各种安全和监控系统以及创新的双层设施布局。凭借其先进的技术，该模型能够为高度先进的半导体生产应用提供惊人的速度和均匀性。