二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9256416 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种最先进、高效的等离子体沉积室,旨在提供工业生产环境中关键的界面工程和工艺能力。开发此工具的目的是在强大的设计中提供各种过程机会,从而实现快速设置和可重复的高性能沉积结果。AMAT P-5000反应器具有高温（450 °C）真空室和铝合金腔室衬里。在内部，一个多火炬气体喷射系统是能够等离子体辅助氧化物和氮化物膜沉积。该设计还具有出色的能量波形能力，包括使用高功率磁控管源进行脉冲波调制，从而能够精确控制材料沉积速率和层。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆具有高效的节能设计，非常适合高性能沉积工艺。在精确度和精度方面，该工具能够对离子源、基板几何形状和表面温度进行精确管理。其集成的双室结构意味着可以设置两组独立的沉积参数，以满足具有挑战性的要求。此外,还可以使用强大但灵活的"切换"开关来调节薄膜沉积,从而在沉积过程中增强薄膜性能。除了坚固的设计外，P-5000反应堆适合与各种底物一起使用。特别是，它非常适合硅片以及玻璃、复合材料和聚酰亚胺等温度敏感的基材。此外，它与多种材料的兼容性允许多层堆栈的复杂沉积，这在许多制造应用中通常是必需的。AMAT P 5000反应器是一种强大的沉积工具，能够支持一系列精确的沉积要求。其强大的设计允许精确和可重复的高性能沉积结果与工艺参数的精确控制。其多火炬气体注入系统具有精确的材料沉积速率和层状膜沉积能力。凭借其高效的节能设计和广泛的基板兼容性，这款尖端工具能够满足许多工业生产应用的精确要求。