二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9256417 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor，又称原子层沉积（ALD）工具，是一种先进的薄膜沉积设备，用于制造厚度精确均匀到纳米尺度的薄膜。它配备了化学气相沉积（CVD）聚类工具，可以同时作为ALD和CVD系统操作。AMAT P-5000具有三个过程室，允许在两个同时沉积中使用两种不同的化学物质。它可以用来沉积厚度一致的薄膜，即使在复杂的特征上，同时实现高均匀性和顺应性。APPLICED MATERIALS P 5000可以处理多种晶圆尺寸，其灵活的批量大小选项使其既适合大型生产应用，又适合小型研究项目。它能够进行多种工艺，如低温高温ALD和真空沉积膜。它还支持广泛的气体，包括氧气、氙气、氮气、氢气和其他几种气体。该单元拥有一个全面的软件包，为用户提供对机器及其流程的全面控制和监控。这包括一个直观的图形用户界面,以便于浏览工具设置。该软件还包括用于监控资产健康和安全的报警功能，以及高度的流程可重复性，使得从批次到批次重现相同的结果变得容易。P5000是一种用途广泛、功能强大的薄膜沉积模型。它可以用来创建具有极精确厚度控制的一致且均匀的原子层沉积。它的先进功能，如直观的软件和全面的安全机制，为用户提供了对其合成薄膜沉积的完全控制。AMAT/APPLIED MATERIALS能够处理各种晶圆尺寸,并提供灵活的批量大小选项,P-5000大型生产应用和小型研究项目的理想选择。