二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262471 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是用于集成电路制造的先进等离子体处理工具。设计用于生产具有均匀特性的高密度、超低温金属纳米翅目。它的特点包括一个现场诊断系统和一个自动射频发生器，帮助确保等离子体处理是可重复和可靠的。此外，其先进的设计提供了一个超高纵横比的电极和基板面积为产品的最佳质量。AMAT P-5000反应器由离子源、电离器和底物组成。离子源是一个装有等离子体并由微波能量驱动的陶瓷室。电离器产生非常强的电场将气体分子分解成它们的正负离子，而底物则持有金属-氧化物-氮氧化物（MONO）层。位于腔室中的屋子电容电极，由于它们的旋转布置，有助于保持等离子体在整个基板上的均匀性。APPLICED MATERIALS P 5000使用全面的多步等离子体处理工艺，以达到高密度、低于10nm的分辨率。这包括初始等离子体预处理步骤和氧化物蚀刻，然后是主要气体步骤，最后是清洁和后处理步骤。预处理步骤可确保进行低温处理,并在创建图样之前清洁基板。它也可以由于等离子体的高离子能量和高温而起到蚀刻剂的作用。主要气体步骤由多种气体组成，以激活基板，以及蚀刻/去除图样化的MONO层。最后，清洁步骤从基板表面清除任何残留气体，恢复MONO层的完整性。P5000的卓越功能允许使用现场诊断系统生产精密的高质量设备,该系统可以识别任何问题的原因和时间。这与自动射频发生器相结合，有助于在整个基板上保持一致，确保公司的竞争优势。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000也是高度可定制的,允许根据客户的需要定制设计。总体而言，APPLIED MATERIALS P-5000是一种先进的等离子体加工工具，有助于生产具有统一特性的超精密金属纳米翅膀。