二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262476 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种多室设备，设计用于产生大量复杂的蚀刻和沉积任务。它基于PECVD（等离子体增强型化学气相沉积）的概念，经过设计，在等离子体蚀刻和沉积过程中提供出色的控制和精度。AMAT P-5000特别具有两个腔室单元，两个常规沉积源和一个射频偏置蚀刻腔室。这两个腔室单元可以进行多功能处理，而每个腔室可以单独配置，以满足广泛的生产要求。在每个腔室单元中，一个PECVD源被两个常规沉积源包围。等离子体增强型PECVD源被用作反应堆的堆芯，旨在提供出色的工艺灵活性和控制。它可以用于选择性过程、电影或精确的模式。这两个传统的沉积源提供了标准的沉积过程，如热反应和蒸发。此外，该系统还配备了高级蚀刻室，这是一个专有的射频偏置单元，旨在提高蚀刻性能。APPLIED MATERIALS P 5000结合了先进的过程控制与稳健的机械布局，提供了卓越的精度和可重复性以及高吞吐量。利用最新的等离子体蚀刻和沉积工艺，该装置可用于生产具有卓越均匀性和质量保证的多种部件和基板。该平台还兼容了广泛的材料，包括Si、GaN、AlN、Mo、Ta等几种材料。AMAT P 5000反应堆是寻求在坚固灵活的机器中生产优质蚀刻沉积元件的客户的绝佳选择。利用先进的控制和可靠的机械布局，该工具能够产生出色的蚀刻和沉积效果，具有快速的周转时间和成本效益。