二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9266344 待售
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已售出
ID: 9266344
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
System, 8"
System skins: Side skins
No helium cooling system
RF Cable position interlock (Match box): OEM-12B
RF-On indicator
Mounting: Lamp mounted on remote AC box
Minicontroller
Heat exchangers: AMAT-0
No heat exchanger skins
No chiller
No H2O flow switch
No EMO guard ring
Mainframe:
Loadlock / Cassette options:
Tilt-out cassette loader
Elevator type: 15-Slots
No load lock lid lifter
Robot
Wafer position sensor
Umbilicals:
Remote signal cable lengths: 50 ft
RF Generator coax cable length: 50 ft
Smart pump interface cable length: 50 ft
Leak check ports
Minicontroller: 10 ft
No status light tower
Signal status indicator: Mainframe
No manual
Missing parts:
SEI Board
VGA Board
Stepper control board
(3) DI/O Boards
Hard Disk Drive (HDD)
Chamber B: Baratron gauge (10torr)
Monitor
Main to AC box power cable
Frequency: 50 Hz
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于高密度等离子体蚀刻和沉积的反应器。它旨在提供精确的高密度等离子体蚀刻、高通量和均匀性的晶圆处理，并具有非常低的功耗。它具有高压、高真空室，具有更高效的高密度等离子体转移和更好的均匀性，因为气体流量增加，电子云密度更好。它能够在广泛的压力和温度范围内产生等离子体，从而能够精确和控制蚀刻过程，从而提高表面质量和提高产量。AMAT P-5000反应堆由一系列组件组成，其中包括自动气体溷合设备、感应耦合等离子体源、离子源、离子源和高压发生器。自动气体溷合系统允许对压力、温度和浓度等等离子体参数进行精确控制。感应耦合等离子体源提供了用于蚀刻的高密度等离子体，而离子源则用于控制等离子体的能量。此外，高压发电机用于提供精确的能级，以获得一致的结果。在其架构上，APPLIED MATERIALS P 5000反应堆具有闭环气体控制单元，旨在最大限度地提高性能和降低污染水平。它具有多个独立的质量流控制器，温度稳定性，传感器反馈和闭环气体控制，以确保准确的气体输送和在广泛的基板尺寸均匀蚀刻。P5000反应堆还采用多层安全壳技术，如负压安全壳和真空密封工具，以尽量减少污染。此外，AMAT P 5000反应堆包括一个独特的材料处理资产，与精密蚀刻模型协同工作，以确保精确和可重复的结果。总体而言，P 5000是一种高性能、经济高效的反应堆，用于精确、精确的蚀刻工艺，具有极好的均匀性和屈服效果。APPLIED MATERIALS P-5000具有先进的功能和自动化的控制系统,是各种高级高密度等离子体蚀刻应用的理想解决方桉。
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