二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9272623 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是专门为复合半导体和光电器件制造而设计的先进加工反应堆。AMAT P-5000采用垂直多层切片机设计，可以在一个室内同时执行多个过程步骤。此功能降低了整个过程的复杂性,并显着提高了晶圆吞吐量。APPLIED MATERIALS P 5000具有增强的原位清洗设备,在蚀刻和沉积过程中保持恒定的低压环境,最大限度地减少微粒污染,并有助于保持正在制造的结构的均匀性。APPLICED MATERIALS P-5000通过提供出色的膜厚度均匀性、清洁界面和低缺陷浓度,促进了高质量结构的形成。对温度、压力和气体进行自动化的现场监测,可以精确控制清除时间、温度坡道和压力设置等处理参数。此控制可确保最佳工艺性能,从而为复杂的结构产生所需的结果。P-5000先进的光刻能力允许创建简单和复杂的图样,并降低缺陷率和更好的临界尺寸控制。该系统提供两个轨道能力，使两个光刻步骤可以连续或并行在同一晶片上进行。该单元还支持小特征尺寸的高分辨率图样，允许制造高密度结构。除了自动化的过程控制机外，APPLIED MATERIALS P5000还提供了一个集成的计量工具，允许对晶圆参数如图样配准和薄膜厚度进行在线监控。这一先进资产有助于实时评估流程性能,从而优化流程参数并监控关键维度的一致性。P5000为复合半导体和光电器件的制造提供了一个理想的先进加工平台。AMAT P 5000的高通量、优越的均匀性以及先进的工艺控制、光刻和计量能力使AMAT P 5000成为制造复杂半导体结构的绝佳选择。