二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9276777 待售

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ID: 9276777
晶圆大小: 6"
优质的: 1992
CVD System, 6" Moving type: Transfer robot Non-SMIF type Main body AC Rack (2) Trans Monitor rack Heat exchanger Generator rack Mini controller LF Rack Gas cabinet Chamber A and B: CVD Chamber D: Mark II Robot Signal tower (3) RF Generators (3) RF Matchers Cassette module: Normal (3) Heater controllers: Chamber A, B and D Missing parts: Fan board Pneumatic valve Match bracket Mini controller connector damaged Power supply: 208 VAC, 180 A, 3 Phase (WYE), 50/60 Hz 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种下一代沉积工具,其开发目的是使高质量的材料具有均匀性和效率。这种专门的沉积设备是为研究和制造各种电子设备而设计的。适用于晶体管制造、MEMS、半导体和高级封装等多种应用。AMAT P-5000利用了一个灵活的PECVD腔室,该腔室设计用于处理温度和设置。这样可以在处理特定材料时提高性能水平。腔室内部为圆柱形,由不锈钢制成,底部和顶部平整。与腔室相连的是一条短的同轴线,作为沉积源。为保证各种材料的均匀沉积速率,APPLICED MATERIALS P 5000配备了坚固的线性沉积控制系统。这一集成特性结合了反应性气体注入和应用偏置,允许对气体流量和功率密度等参数进行精确控制。此级别的控制使用户能够精确地创建多层结构和其他复杂的体系结构。此外,P-5000的设计使金属-绝缘体-金属(MIM)、有机金属和金属有机骨架等先进材料能够低能沉积。这个性价比高的单元特别适合制造光电探测器和光伏电池等光电器件。除了其灵活的内部和控制机外,应用材料P-5000还提供卓越的温度控制,以获得稳定的结果.它配备了双区水冷工具,可以对腔室和个别基板进行精确的热控制。此级别的温度控制可实现高级处理和可重复结果。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是一种革命性的沉积资产,能够在广泛的适用材料中提供高性能的结果。其先进的沉积控制模型利用双区水冷设备,在处理复杂结构时提供了更高的重复性和稳定性。因此,APPLIED MATERIALS P5000非常适合在研发和尖端制造方面的各种应用。
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