二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9279197 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9279197
晶圆大小: 8
优质的: 1994
Plasma CVD system, 8" 1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高性能、闭环、通用的等离子体反应堆设备,能够精确制造各种电子设备结构。此工具提供了满足当今高精度、高可靠性应用程序的严格要求所必需的灵活性、速度、准确性和过程控制。AMAT P-5000反应堆是一个自给自足的系统,具有强大的加工环境和广泛的兼容过程气体,如Ar、O2、H2、N2、He和各种各样的溷合气体。它也是完全可升级和定制的,能够从薄膜蚀刻和沉积到掺杂、化学/机械抛光和化学气相沉积等一系列应用。应用材料P 5000反应器由基底电极拱顶和加工室两个主要部分组成。基底电极拱顶的设计是利用基底载荷和卸载技术来优化屈服,以确保最佳工艺屈服。该加工室包含主等离子体、散射和蚀刻硬件,可实现精密应用所需的严格过程控制。P-5000反应堆的设计具有多种安全、健康和环境特点,包括能效、低排放和减少残余危害。它还拥有较低的总体运营成本以及较低的维护运营。APPLIED MATERIALS P5000反应堆的控制单元设计为确保精密的过程控制,提供易于使用的图形界面,以及多参数的过程调整和优化参数。这台机器包含了广泛的先进技术特点,如高精度的数字质量流控制器、集成的压力控制器和集成的测温工具。AMAT P 5000反应器是各种微电子器件结构的理想工具,从薄膜蚀刻沉积到高精度掺杂、抛光和化学气相沉积。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆以其全面的工艺控制、先进的技术特点和低维护运行,是精密制造的理想工具。
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