二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9288566 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种用途广泛的高温工艺室，用于各种半导体应用。这是一个连续流动、高温的单位，被用来用各种材料製造出多种阵列，包括硅、砷化的、铜和的。AMAT P-5000由一个主体、一个多区域圆柱形腔室、四个运输模块和一个反应模块组成。主体由不锈钢容器和温度控制系统组成。温度控制系统是一个组合对流辐射系统，将腔室及其内容物加热到所需的过程温度。在加工室的另一端是一个气体进入口，以氙气和其他工艺气体为原料。它还包含一个反应容器、一个熔炉和一组自动化的驱动电动机。多区圆柱形腔室是应用材料P 5000的心脏，在那里发生等离子体增强过程。它由源区域、终极方法（UMM）区域和反应区域组成。源区提供射频功率，使加工气体电离。UMM区用于溷合和沉积基板上的原料，覆盖范围均匀。反应区用于晶片的沉积和蚀刻，以及创建图样、特征和其他微观结构。四个传输模块负责基板的运动和加热气体在腔内的传输。前两个模块（载荷和卸载）位于腔室外部。它们打开并关闭以将晶片引入腔室，并在工艺完成后将其取出。剩下的两个模块Shuttle和GIS在加工室周围形成紧密的密封，使加热的气体得以再循环，并防止其逃逸。最后，P 5000反应堆装有反应模块，由调节压力并提供所需过程所需的直流功率和射频功率的工艺室组成。它包含了一组工艺电极、交流和直流电源、等离子体发生器和可编程数字控制器。综上所述，应用材料P5000反应器是一个坚固的高温过程室，能够持续高温过程。它利用高压和等离子体的组合来催化高端工艺。设计灵活高效，能够生产结构复杂的高品质零件。