二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291585 待售
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ID: 9291585
System
Chamber position: A, B, D
Downstream Plasma Apparatus (DPA)
Slit valve type: S Slit
Slit valve o-ring: Kalrez
Lamp module: Standard
Heater window: Quartz
Throttle valve: Cluster
No lamp module water flow switch
No Endpoint detector
No RGA port
Manometer:
VCR: 10T (Silane)
VCO
Process kit:
Wafer lift: Metal (Standard)
Pumping plate: 0020-30059
GDP / Blocker: 0020-30286 / 0020-34775
Gas delivery options:
Silane chamber, 8"
Pallet / Process / Flow / Cal / MFC
Position / Gas / Size / Gas / Type
1 / SiH4 / 500 cc / SiH4 / Unit 1660
2 / NH3 / 300 cc / NH3 / Unit 1660
3 / N2O / 3 slm / N2O / Unit 1660
4 / NF3 / 5 slm / CF4 / Unit 1660
5 / N2 / 10 slm / N2 / Unit 1660
RF frequency: Single.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是专为半导体生产而设计的最先进的制造设备。它是一种功能强大、用途广泛的工具，可用于生产逻辑、内存、溷合信号集成电路（IC）等多种不同类型的半导体器件。AMAT P-5000由几个模块组成，包括一个反应堆室、气体分配系统和一个计算机化控制器。APPLIED MATERIALS P 5000的主要部件是反应器室，一个容纳反应过程的不锈钢单元。这个腔室可以配置成各种各样的温度、压力和气流，允许执行各种过程。腔室还装有石英窗，可以对过程进行实时监测和性能分析。应用材料P5000还包括气体分配单元和计算机化控制器.这台机器确保正确的气体溷合物被输送到腔室，无论加工条件如何。该工具还允许微调压力、温度和反应室尺寸等参数。这样可以确保获得所需的最终结果。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000还包括若干安全功能，包括低温和高温警报资产、压力监测模型和超压保护阀。反应堆还配备了传感器，用于监测气体的化学成分，有助于确保该过程的安全和高效。总之，P5000反应堆是制造半导体器件的一种功能强大、用途广泛的工具。可以配置其广泛的功能,以满足各种流程的确切要求,从而确保获得所需的最终结果。它的众多安全特性也确保任何过程都是安全和高效的。
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