二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291959 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9291959
晶圆大小: 6"
System, 6" PTEOS Chamber Oxide etch chamber SiN Chamber Short elevator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种多功能、用户友好、可靠的多室过程反应堆。它是专门为使各种材料以可靠和高度可重复的方式沉积到基板上而开发的。这使得AMAT P-5000一系列不同应用的完美选择,如光学涂层、纳米材料、超导体和半导体。APPLICED MATERIALS P 5000由三个不同的腔室组成,包括最多两个生产腔室和一个单独的装卸腔室。生产室负责控制负责材料反应沉积的物理参数。该气室具有独立的气线,可同时实现单一或多个气源,使设备非常适合所有比例耗散技术。单独的锁载室可确保生产室保持适当的加压和稳定的温度。该系统的其余部分具有一系列高度先进的功能,可确保可重复的过程和可靠的沉积。这包括直观的图形用户界面、实时单元控制和监控功能以及一系列温度控制元素和安全功能等元素,以确保始终满足严格的要求。P 5000机器还设有两个独立的Vacuum Subsystems,根据要使用的基板的具体要求提供一系列的能力。第一个真空子系统针对金属和金属氧化物沉积进行了优化,第二个针对氧化物、电阻和其他非金属沉积过程进行了优化。这种灵活性允许工具与不同类型的基板一起使用,增加资产粗糙度,并允许一系列沉积动力学。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是寻求各种不同材料的精确和可重复沉积的人的理想选择。凭借其三室设计、先进的用户界面、直观的实时控制和监控能力以及精确的温度控制和安全元素,该模型提供了高度的可靠性和准确性。结合其快速生产过程和真空子系统功能,P-5000反应堆一定能提供各种不同应用所需的精确结果。
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