二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291960 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个圆柱形等离子体反应器，设计用于半导体加工应用。它能够处理直径达300毫米的全晶片，并配有快速脉冲、大功率发电机。该设备利用具有射频窗口的单个工艺室进行等离子体生成和干扰抑制。该系统提供了一个统一和可重复的过程，这意味着生产时间可以最小化，并保持产品质量。AMAT P-5000包括高功率频率脉冲发生器，具有专有的等离子体阵列设计。这项专利设计采用低功率开关元件和阴极，寿命延长，等离子体输出均匀。频率脉冲发生器使用户能够在一定温度和压力范围内产生严格控制的放电。这项技术确保了稳定可靠的等离子体工艺，同时降低了维护和运营成本。APPLICED MATERIALS P 5000还具有屏蔽气体单元、内部气源和配电网络。该机器允许用户选择所需的工艺气体，如氙气、氮气和氢气，并以用户指定的比例和流量将它们输送到等离子体室中。这允许严格控制蚀刻和沉积过程。AMAT P 5000为了精度和均匀性而打造，并配备了可变压力控制工具。这样可以将腔室设置为所需的压力,并确保整个晶片的均匀性。此外,该资产还包括集成的流程监控和诊断模型。此设备记录来自每个工艺步骤的信息,并允许用户查看、测量和调整工艺配方。P-5000是用于半导体制造过程的强大而可靠的工具。凭借其全面的高功率等离子体发电和受控的均匀性能力，使用户实现了最高的产量。它的前沿功能确保流程是可重复、高效和可靠的。