二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291961 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种全晶片间歇反应器,可用于气体或液体输送。这座反应堆具有一套独特的特性，使其能够提供广泛的处理能力。AMAT P-5000有一个5区温度控制设备，最多有三个区域的加工气体，其中一个可以提供氮稀释。反应堆由先进的控制系统控制，该系统提供直观易用的界面，以及一套综合的工艺参数，用于优化和一致的结果。APPLICED MATERIALS P 5000设计具有较大的钢机械优势和快速的翻盖通道.这减少了设备设置和维护所需的时间。此外,还可以调整机器的高度和宽度,以适应您的特定工艺要求。可以容纳几种基板配置，包括100毫米、200毫米、300毫米和450mm半导体晶圆。这使得P 5000成为适合广泛应用的工具，如外延生长、化学气相沉积、原子层沉积等等。AMAT P5000反应堆采用五区微处理器控制的温度控制工具。此资产可精确控制从室温到900 °C的温度。此外，热区温度的均匀性和稳定性可以调整，以适应个别要求。气体输送模型由四个独立的气源、截面体积质量流量控制器和调节器组成，提供了准确可靠的性能。液体输送设备在可调温度、压力和流速下运行，以精确控制液体浆液，并用于层压应用。P-5000反应堆具有先进的控制器和直观的用户界面.控制器提供有关当前流程参数的信息,以及有关流程开发的即时反馈。此外,还可以保护用户权限,以确保访问和控制系统。最后,AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000具有时尚而紧凑的设计,易于安装并集成到您现有的生产线中。所有这些特性使得应用材料P5000一个高度通用和可靠的批式反应堆。