二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294422 待售

ID: 9294422
晶圆大小: 5"
PECVD System, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为半导体工业的广泛应用而设计的反应室。AMAT P-5000是一种高性能、高通量的反应堆,为许多应用提供精确的晶圆加热和统一的工艺条件。该反应堆有一个大尺寸的加工室,经过了大规模生产的优化,可容纳直径不超过8英寸的晶片。具有优良的温度分布均匀性,保证了精密、重复的处理。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆装有两个高质量、坚固的加热元件。它具有一对坚固、易于更换的石英开槽衬里组件,以便在所含气体中实现最大均匀性。配有安全互锁门,反应堆温度可轻松调节,达到最佳性能。它还拥有最优质的高速涡轮机、真空系统、PID控制器和激光定位传感器,以提供精确的过程控制。P5000具有良好的沉积均匀性和高通量,晶圆污染减少。它的快速运输时间比传统反应堆低75%,这是因为它具有快速移动的旋转熔炉和快速接触室。此外,它还提供了接近零的粒子生成速率,在过程中额外的可靠性。应用材料P-5000反应堆的设计具有最大的灵活性。它提供了安装众多附件的选项,例如加热器背面映射系统和激光定位传感器,以实现极其精确和可重复的处理。此外,该沉积物的高斯分布是可调的,以确保整个晶片的沉积均匀。总体而言,应用材料应用材料P-5000反应堆是一个高性能、高通量的半导体工业反应室。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000配备了一对坚固的加热元件、安全联锁门和一系列功能,可提供精确的过程控制,对于希望在项目上取得可靠和可重复结果的用户来说,它是一个理想的解决方桉。
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