二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294469 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种完整的双晶圆并联板反应器设备，用于半导体和先进的光电器件制造。它的平台具有高度的可配置性,可以同时对多个流程步骤进行精确和控制。AMAT P-5000由几个关键组件组成。物理封装，即PCB，是系统的主要处理器，提供对所有其他元件和过程参数的控制。这包括一个集成的气体溷合控制单元，温度和压力传感器，以及一个带冷陷阱的真空机。APPLICED MATERIALS P 5000使用平行板反应器设计，两个对称静电板或电极放置在腔室的两侧。这种设计可以提高加工效率，降低工艺压力，更好地限制反应物气体。这些板是由石墨、陶瓷或金属等材料制成的。由于基板放置在板之间，加工室的温度和/或压力可以用空气或气体溷合物调节，由多氯联苯调节，以操纵所需材料的生长速度。应用材料P-5000利用射频能量帮助反应物气体电离，使其有助于薄膜沉积。可以对电极的射频功率进行调制，以观察材料在不同条件下的生长。APPLIED MATERIALS P5000还提供集成的计量功能。它配备了几种光学检测工具来测量材料的最薄层。这些工具可以检测通过样品的光的干涉，以及测量沉积层的厚度和样品的表面积。这在暴露层表征和光学性能测量中非常有用。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一种极为高效的反应堆工具,它为制造半导体和光电器件提供了一个严格控制的过程环境。P-5000结合了集成过程控制、模块化反应堆设计和计量功能，是先进设备制造商的强大工具。